Débitmètre massique de gaz Isoplex MFM-FLOW
La série Isoplex MFM-FLOW est dotée d'un système de régulation en boucle fermée qui intègre un capteur de débit massique de haute précision, un élément de débit laminaire, une vanne de régulation électromagnétique et un circuit d'amplification de précision. Son principe de base est la calorimétrie, basée sur la différence de température à travers un tube capillaire ; en mesurant les changements dans la distribution de la conduction thermique causés par l'écoulement du fluide, elle permet une détection directe du débit massique du gaz. Cette série offre non seulement une mesure de débit très précise, mais utilise également un système de régulation interne en boucle fermée pour actionner automatiquement la vanne de régulation, garantissant ainsi que le débit réel correspond strictement au signal de consigne.
Pêche Oexploitation Pprincipe
- Détection thermique : Alors que le fluide traverse le capillaire de mesure, il emporte la chaleur du côté amont du capteur et la transfère vers l'aval.
- Traitement du signal Le capteur détecte la différence de température entre les côtés amont et aval du capillaire, et ce signal est précisément amplifié par un circuit imprimé multicouche.
- Régulation en boucle fermée : Le circuit de commande compare en continu le signal du capteur avec une valeur cible prédéfinie en temps réel, et utilise la différence pour piloter la vanne de régulation, compensant dynamiquement les fluctuations de débit.
Caractéristiques techniques et Avantages
- Principe du débit massique thermique
Les résultats de mesure reflètent directement le nombre de molécules de gaz. Le processus de mesure ne nécessite aucune compensation de température ou de pression, éliminant ainsi efficacement les interférences des fluctuations environnementales sur la précision du contrôle.
- Stabilité structurelle
Le diviseur de débit est doté d'une conception à empilement de flux laminaire. Comparé aux structures traditionnelles, l'empilement de flux laminaire offre une distribution de champ de flux plus stable, garantissant une excellente linéarité et une fiabilité opérationnelle à long terme sur une large plage de mesure.
- Excellente performance à des débits ultra-bas
Grâce à la conception du capteur à haute sensibilité, ce produit présente des temps d'échauffement courts et une dérive de point zéro minimale. Même lors de tâches de contrôle de débit ultra-faible, il maintient une répétabilité et une précision de mesure de consigne extrêmement élevées.
- Système électronique à haute immunité
La carte de circuit imprimé utilise un processus de routage multicouche. Cette conception réduit non seulement la taille de l'appareil, mais améliore également considérablement la compatibilité électromagnétique du circuit et son immunité aux interférences, garantissant la pureté du signal même dans des environnements électromagnétiques industriels complexes.
Domaine d'application
Procédés semi-conducteurs, analyse de laboratoire, R&D de piles à combustible, surveillance environnementale et revêtement sous vide de précision.
Identification visuelle
Pour aider les utilisateurs à distinguer facilement les différents gaz, nous avons conçu trois palettes de couleurs, qui peuvent également être personnalisées pour répondre à des exigences spécifiques.
Rouge Gaz toxiques et dangereux, tels que le sulfure d'hydrogène et l'ammoniac
Jaune : Gaz inflammables et explosifs, tels que l'hydrogène et l'oxygène
Gris Gaz inertes, tel que l'air et l'azote
Identification visuelle
Pour aider les utilisateurs à distinguer facilement les différents gaz, nous avons conçu trois palettes de couleurs, qui peuvent également être personnalisées pour répondre à des exigences spécifiques.
Rouge Gaz toxiques et dangereux, tels que le sulfure d'hydrogène et l'ammoniac
Jaune : Gaz inflammables et explosifs, tels que l'hydrogène et l'oxygène
Gris Gaz inertes, tel que l'air et l'azote
Sélection du modèle
Spécifications du débitmètre massique de gaz Isoplex MFM-FLOW
| Gamme basse | Moyenne portée | Large gamme | |||
| Analogique | Affichage local | Affichage local | Numérique | Analogique | Affichage local |
Gamme | 5~500 mln/min, 1~30 ln/min (Air) | 30~300 slm (Air) | 300~3000slm (Air) | |||
Précision | ±1,01 TP3TF.S (débit ≤ 10 slm) ±1,51 TP3TF.S (débit < 10 slm et ≤ 30 slm) | ±1,01 TP3TS.P (débit ≥ 351 TP3TF.S) ±0,51 TP3TF.S (débit < 351 TP3TF.S) | ±1,01 TP3TS.P (débit ≥ 351 TP3TF.S) ±0,51 TP3TF.S (débit < 351 TP3TF.S) | ±1,01 TP3TS.P (débit ≥ 351 TP3TF.S) ±0,51 TP3TF.S (débit < 351 TP3TF.S) | ±1,01 TP3T F.S. | ±1,01 TP3TS.P (débit ≥ 351 TP3TF.S) ±0,51 TP3TF.S (débit < 351 TP3TF.S) |
Plage de contrôle | Contrôleur de débit : 50:1, Débitmètre : 100:1 | Contrôleur de débit : 50:1 | Contrôleur de débit : 50:1 | |||
Répétabilité | ±0,2%F.S | ±0,2%F.S | ±0,2%F.S | ±0,21 TP3T F.S. | ±0,21 TP3T F.S. | ±0,2%F.S |
Linéarité | ±0,51 TP3TF.S (débit ≤ 10 slm), ±1,01 TP3TF.S (10 slm < débit ≤ 30 slm) | ±0,5%F.S | ±0,5%F.S | ±0,51 TP3T F.S. | ±0,51 TP3T F.S. | ±0,5%F.S |
Sensibilité à la température | – | zéro : < ± 0,051 TP3T FS/℃ span : < ± 0,11 TP3T F.S/℃ | zéro : < ± 0,051 TP3T F.S./°C ; plage : < ± 0,11 TP3T F.S./°C | zéro : < ± 0,051 TP3T F.S./°C ; plage : < ± 0,11 TP3T F.S./°C | zéro : < ± 0,051 TP3T F.S./°C ; plage : < ± 0,11 TP3T F.S./°C | zéro : < ± 0,051 TP3T F.S./℃ plage : < ± 0,11 TP3T F.S./℃ |
Temps de réponse | 1~4 sec (T98) | <2 sec (T98) | 1-4sec (T98) | 1~4 sec (T98) | 1~4 sec (T98) | 1-4 sec (T98) |
Température ambiante | 5~45℃ | 5~45℃ Assurer l'exactitude (15~35℃) | 5~45℃ Assurer l'exactitude (15~35℃) | 5~45℃ Assurer l'exactitude (15~35℃) | ||
Intégrité de la fuite, hors-bord | 1×10-8Pa·m³/s(He) | 1×10-10Pa·M3/(Il/Elle) | 1 millimètre-10Pa.M3/(Il/Elle) | < 1 × 10–9Pa·M3/(Il/Elle) | < 1 × 10-8Pa·M3/(Il/Elle) | 1 millimètre-10Pa.M3/(Il/Elle) |
Temps d'échauffement | 15 min | |||||
Alimentation électrique | 15~24 VDC | |||||
Signal analogique | 0 à 5 Vcc ou 4 à 20 mA | – | – | – | 0 à 5 Vcc ou 4 à 20 mA | – |
Signal d'entrée/sortie | – | RS485/RS232 (0 à 5 VDC ou 4 à 20 mA | RS485/RS232 (0 ~ 5 VDC ou 4 ~ 20 mA) | RS485/RS232 (0 ~ 5 VDC ou 4 ~ 20 mA) | – | RS485/RS232 (0-5 VDC ou 4-20 mA) |
Matériaux mouillés principaux | Acier inoxydable SS316 | |||||
Pression maximale admissible | 3 MPa (Spécial : 10 MPa) | 3 MPa | 30 bars | 30 bars | 30 bars | 3 MPa |
Pression de fonctionnement maximale | 1 MPa | |||||
Différence de pression | 0,05 – 0,4 MPa | |||||
Connexion mécanique | Standard : Connexion à double virole （Options : Filetage VCR VCO ou Brides） | |||||
Joints | Viton, NBR, EPDM, Perfluoroéthane | – | – | Viton, NBR, EPDM, Perfluoroéthane | – | – |
Apparence du débitmètre massique de gaz Isoplex MFM-FLOW
Analogique
Gamme basse
Affichage local
Gamme basse
Affichage local
Moyenne portée
Numérique
Moyenne portée
Analogique
Moyenne portée
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